便携式气体质量流量计分体便携设计，支持外接移动电源供电，电池易更换，随身可带，现场即插即用
分体式便携架构，主机小巧轻量化，摆脱固定工位供电束缚；支持充电宝直流供电，现场没有市电也能开机测试

核心亮点：分体便携设计，支持外接移动电源供电，电池易更换，随身可带，现场即插即用

分体式便携架构，主机小巧轻量化，摆脱固定工位供电束缚；支持充电宝直流供电，现场没有市电也能开机测试

供电模组可快速更换，无需专业工具，续航灵活调配，出差拜访、现场试机、上门标定不用被电源线限制

热式质量流量原理，直接读取标况流量，不受温度、压力波动干扰，测量稳定，适配N₂、Ar、空气等多种常规气体

自带高清本地显示屏，现场直接查看实时流量；支持Modbus RTU通讯，可对接上位机、PLC做数据记录

全金属流道，密封件可选FKM, FFKM，适配半导体、光伏、实验室、配气标定、阀件测试多场景

自带按键操作，参数就地设置，不用依赖电脑，现场调试简单高效

介质要求 Applicable Media 洁净干燥气体 Clean, dry gases 

气体种类 Gas Type 90+ Available for 90+types of gas

量程 Full cale (N2 equivalent) 0-2, 20, 50, 100, 200 sccm; 0- 20, 30, 50, 100, 200 slpm( MFM350 400slmp)

测量范围 Measurement range 0.5% F.S. (1:200) 

控制范围 Control range 1% - 100% F.S. (1:100) （MFC） 

准确度 Accuracy ±0.35% F.S. (<35% FS.)，±1.0% S.P. （≥35% F.S.）或 0.5%F.S.

重复精度 Repeatability ±0.2% F.S. 

线性度 Linearity ±0.2% F.S. 

控制响应时间 Typical control response time <1 秒 

预热时间 Warm-up time 5 min (T95),30分钟最佳 30min for optimum accuracy 

阀门 Valve function 

常闭式 Normally Closed 

泄漏率 Leak integrity 1*10 -10 Pa*m³/sec He 

分辨率 Resolution ratio 0.001sccm